CombiLineTM - Estações de Bombeamento
Vantagens
- A estação de bombeamento compreende uma bomba de pré-vácuo e uma bomba roots
- Velocidade de bombeamento de 200, 400, 800 m³/h, e pressão final de 5 • 10-3 mbar
- Gas Selante com válvula ajustável
- Silenciador de aço inoxidável e válvula de retenção
- Em grande parte das aplicações não precisa de refrigeração líquida (pressão de entrada < 100 mbar)
- Disponível para aplicações limpas, ou com contaminação média e severa
- Baixo consumo de gás
- As opções incluem: cabine de controle, carrinho, coifa isolante de ruído
Aplicações
- Química: secagem, filtragem, embalagem, destilação, recuperação de solventes, liofilização
- Metalurgia: fusão em vácuo, fundição, sinterização, brazagem, têmpera
- Semicondutores e revestimento (filmes finos): CVD, SACVD, HDPCVD, LPCVD, PECVD, MOCVD, PVD, Epitaxy, Plasma Etch, RIE
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