CombiLineTM - Estações de Bombeamento
Vantagens
- A estação de bombeamento WOD consiste numa bomba primária seca, uma bomba roots, PLC, gás e um painel de controle elétrico montado numa base móvel
- Volumes de 200, 400, 800 m³/h, e pressão final de 5 • 10-3 mbar
- Acoplamento para gás com válvula ajustável
- Silenciador de aço inoxidável e válvula de retenção
- Em grande parte das aplicações não necessita de refrigeração líquida (pressão primeiramente < 100 mbar)
- Disponível para aplicações em processos limpos, moderados e agressivos
- Baixo consumo de gás selante
Aplicações
- Secagem química: secagem, filtragem, embalagem, destilação, recuperação de solventes, liofilização
- Metalurgia: fusão em vácuo, fundição, sinterização, soldagem, têmpera
- Semicondutor e revestimento: CVD, SACVD, HDPCVD, LPCVD, PECVD, MOCVD, PVD, Epitaxy, Plasma Etch, RIE